离子注入用石墨部件

这些组件在离子注入过程中发挥着关键作用，能够精确控制注入剂量、能量及均匀性。包括离子源部件、束线元件和晶圆处理系统在内的这些组件，确保离子准确地导入基底，从而优化掺杂浓度与分布。它们的高精度和耐用性有助于提升工艺稳定性，改善器件性能，并延长设备使用寿命。