石墨悬浮器

本公司石墨托盘采用自研高纯度石墨基材（杂质含量≤1 ppm）制造，具有均匀的热分布与优异热稳定性，专为半导体 MOCVD 与 CVD 外延系统量身定制；且产品可耐受外延工艺中极端高温及严苛化学环境，从源头有效降低制程污染风险。 为进一步提升部件性能，我们还提供可定制选配的碳化钽（TaC）及碳化硅（SiC）涂层，可显著增强材料抗氧化、抗腐蚀及抗前驱气体反应能力，大幅延长托盘使用寿命。 目前我们为各类外延反应器提供SiC/TaC 涂层石墨托盘，产品覆盖桶形、煎饼形及多规格单片式托盘，可满足不同外延设备的专业化应用需求。