石墨悬浮器

我们的石墨托盘采用自主生产的高纯度（杂质含量≤1 ppm）石墨材料制成，确保在MOCVD和CVD外延系统中实现均匀的热分布及卓越的热稳定性。这些部件能够承受极端温度和化学环境的考验，有效降低污染风险。为进一步提升性能，我们还提供碳化钽（TaC）和碳化硅（SiC）涂层，可显著增强抗氧化、抗腐蚀以及耐前驱气体反应的能力，大幅延长托盘的使用寿命。目前，我们为各类外延反应器提供SiC/TaC涂层托盘，涵盖桶形托盘、煎饼形托盘及不同尺寸的单片式托盘等多种型号。